等離子表面處理儀具有哪些功能特性？
更新時間：2020-05-06 點擊次數(shù)：1521
等離子體就是指全部或部分離子化的氣體，它們有電子、離子，還包括激發(fā)分子、自由基和光子等高能活性成分，且自由電子和離子所帶正、負(fù)電荷總和*抵消。
1、等離子清洗：去除基體材料表面的無機物或弱鍵以及典型-CH基有機污染物和氧化物。主要特點：只與材料表面納米級的厚度起反應(yīng)，而對內(nèi)部無任何侵蝕，得到超高潔凈表面為下道工序做好準(zhǔn)備。
2、等離子表面處理儀活化主要特點：可使聚合物表面出現(xiàn)部分活性原子、自由基和不飽和鍵，這些活性基團(tuán)與等離子體中的活性粒子發(fā)生反應(yīng)生成新的活性基團(tuán)，從而增加表面能量，改變表面的化學(xué)特性，增強表面附著力、粘結(jié)力。
3、等離子刻蝕：利用典型的氣體組合形成具有強烈蝕刻性的氣相等離子體與基體材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成如CO、CO2、H2O等揮發(fā)氣體，從而達(dá)到蝕刻的目的。
4、等離子表面處理儀涂層(接枝、沉積)：兩種以上氣體(或單體)同時進(jìn)入反應(yīng)腔體，氣體在等離子環(huán)境下會聚合。這種應(yīng)用比活化和清洗的要求更嚴(yán)格一些。典型的應(yīng)用是保護(hù)層的形成，應(yīng)用于燃料容器、防刮表面、類似聚四氟乙烯(PTFE)材質(zhì)的涂鍍、防水鍍層等。
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